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真空模組

真空模組,可以在10^-7Pa的真空環境下運行,耐溫達200℃,真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。此系列產品主要應用于真空室,高溫室,高潔凈度環境。

相關產品

    真空模組特點: 

    • 一體化設計,可靠易用。

    • 標準化設計制造60、90、120三種規格,可定制其它規格

    • 工作環境溫度-196℃至+200℃

    • 適用真空度10-7Pa 


    * 在 50~800mm行程內都可以定制

    等級代碼溫度等級℃真空度pa(mbar)
    NT-L1-20~+85-
    NT-L2-40~+85-
    NT-L3-60~+8510-1 (10-3)
    HT-20~+20010-3 (10-5)
    SHT-20~+20010-7 (10-9)
    LT-100~+4010-7 (10-9)
    SLT-196~+4010-7 (10-9)
    L* H*定制定制

    * 定制的L(低)和H(高)溫度來自 -196℃到+300℃ 。


    直線模組真空材料燒結.jpg

    真空材料燒結(高溫+150℃,真空度10-1Pa)


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