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雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM系列精度達±1 μm,分辨率達5 nm,周期誤差為±30 nm,雙向可重復IN-TRAC光學參考零位 。

    雷尼紹SiGNUM RELM高精度直線光柵

    • 堅固的20 μm柵距因鋼柵尺

    • 精度達±1 μm,分辨率達5 nm,周期誤差為±30 nm

    • 雙向可重復IN-TRAC光學參考零位 


    雷尼紹直線光柵RELM高精度直線光柵重新定義了光柵的性能,具有高速、可靠、非接觸的性能,它還具有IN-TRAC內置刻劃光學零位等先進功能,它的系統由SR讀數頭、Si細分盒和RELM 20 μm柵距的因鋼柵尺組成。雷尼紹高精度直線光柵RELM極為堅固,其優異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統媲美。它的精度達±1μm,膨脹系數~0.6μm/m/°C(0℃至30℃),分辨率達5nm,能夠滿足苛刻的精密運動的需 求。SR讀數頭工作速度達12.5m/s ,它采用了雷尼紹獨特的光學濾波裝置,具有極佳的抗污垢、灰塵和劃傷的能 力。參考零位的位置可設在柵尺的中 心(RELM)或距柵尺端點20mm處(RELE)。 


    為何使用RELM? 

    • IN-TRAC內置刻劃光學零位具有雙 向、可重復功能,甚至可以實現最高速度(12.5 m/s)。 

    • 動態信號控制確保了電子細分誤差小于±30nm。如今,20um柵距的光柵系統也能實現以前只有小柵距光柵才能達到的性能水準,另外它還具有抗灰塵和安裝簡便的特點。

    • RELM柵尺由一種堅固、低膨脹的穩定 合金 — 因鋼制成,操作和安裝都很方 便。

    • 高精度(達±1um)和低熱膨脹系數(<1.4μm/m/°C)使RELM因鋼柵尺 適用于最精密的運動應用。

    • 安裝方便??墒褂脵C械夾具或背面自帶的特殊配方不干膠直接安裝在底 層。 

    • 內置的安裝指示燈和功能全面的 SiGNUM軟件使安裝快捷簡單,從而實現最佳性能,并可方便地對系統進行診斷。 

    • 雙光學限位可在柵尺上提供行程終點 指示。 


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